山东激光切割厂家讲光束聚焦工件位置
发表时间:2021-11-20 16:47
山东激光切割厂家讲光束聚焦工件位置
精密切割中,对切口宽度有相当严格的要求,用于微电子工业的精密切割。以硅的划片为例,在块硅片上制作了大量组件,不同组件之间的距离约为um,
那么,过或um的切口固然定毁坏元件,即使是接近百微米的切口,也因热扩散等作用而严重影响半导体组件的功能。所以,如果要求切口和两边组件的距离均为-um时,则切口宽度便不得过~um。
为了获得窄的切口宽度,不但需要激光束聚焦光尽量小,而且需要以的工件位置予以适当配合,使切口宽度合家工要求。光束聚焦与工件位置直接影响精密切割质量,下面讨论与其有关的因素。
、光束聚焦
从激光器输出的光束,般都具有毫米量的束握。因此,在用于精密切割之前,须先把它聚焦,将束腰压缩百左右,这样既可使切口宽度减小,又可功率密度,对切割为。透镜焦距越小,聚焦越好,所以,通常都选用短焦距透镜聚焦。
二、工件位置
为了精密切割的切割精度,把光束聚焦还不够,尚需仔细待家工工件的位置。
很,如果工件和聚焦后的光束束腰之间有个不容忽视的距离,那么,尽管束腰已被压缩得小,但落到工件上的光却可能过所要求的值。
需要调指出的是,由子聚焦后的光束束腰很小,发散角很大,因而,旦偏离束腰位置,光的是不可忽视的。
三、激光切割的原理
由于被家工材料的X质不同,切割原理通常分为两类。切制金属和某些介质材料时,先把材料蒸发或熔化,然后(般通过吹气)把熔融物从光作用区排出,而切割硬脆材料时,则是热应力,使材料沿裂纹断开。
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